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扫描电子显微镜(SEM) 具有哪些特点?
来源:技术文章    更新时间:2023-11-08    浏览:742次
扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
 
扫描电镜的特点介绍:
 
1.可以观察直径为0 ~30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径),制样方法简单。
 
2.场深大(三百倍于光学显微镜),适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。
 
3.放大倍数变化范围大,一般为15 ~200000 倍,对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。
 
4.具有相当高的分辨率,一般为3.5 ~6nm。
 
5.可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量,如通过调制可改善图像反差的宽容度,使图像各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图像选择器,可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同形式的图像。
 
6.可进行多种功能的分析。与X射线谱仪配接,可在观察形貌的同时进行微区成分分析;配有光学显微镜和单色仪等附件时,可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。
 
7.可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验,观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。

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