反射金相显微镜由镜筒、真空系统和电源柜三部分组成。

　　镜筒主要有电子枪、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件，这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体；真空系统由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接；电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。

　　该系统分成两部分：电子枪和会聚镜。电子枪由灯丝(阴极)、栅级和阳极组成。加热灯丝发射电子束。在阳极加电压，电子加速。阳极与阴极间的电位差为总的加速电压。经加速而具有能量的电子从阳极板的孔中射出。射出的电子束能量与加速电压有关，栅极起控制电子束外形的作用。电子束有一定的发散角，经会聚镜调节后，可看得到发散角，很小甚至为0的平行电子束。电子束的电流密度(束流)可通过调节会聚镜的电流来调节。

　　反射金相显微镜是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、的数码成像技术完美地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品，既可人工观察金相图像，又可以在数码相机上很方便地适时观察金相图像，并以数码照片记录下来，从而对金相图谱进行分析，评级等，还可以数码冲洗或打印出高像素金相照片。